VSHS/VSHT高純度壓力傳感器VCR接口
半導體產業用放大器內置壓力變送器
量程：0.3MPa～20MPa
電解拋光表面處理及精密清洗處理
支持1/4、 3/8、1/2VCR?UJR接頭及公頭、母頭
接液部位材質采用SUS316L(VIM+VAR)的耐腐蝕結構
同時可選材質：Hastelloy哈氏合金C-276同級材料、SUS329J4L
| 測量介質 | 不會腐蝕SUS316L的各種氣體、液體等介質 |
|---|---|
| 測量種類 | 可進行正壓、連成壓的測量 |
| 測量范圍 | 能夠在額定容量0.3～20 MPa的范圍內指定 此外，還可以在-0.1～1MPa等正負組合壓力下進行校準 |
| 輸出種類 | 4～20mA(雙線式),1～5V,0～5V,0～10V中指定 |
詳細信息
規格
| 精度 | ±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.5%R.C.) |
|---|---|
| 溫度補償范圍（測量介質溫度） | 0～60℃（不可結露、結冰） |
| 動作溫度范圍（測量介質溫度） | 0～80℃（不可結露、結冰） |
| 溫度漂移 | ±0.5%R.C./10℃ |
| 允許過載 | 200%R.C.(20MPa:150%R.C.) |
| 泄漏量 | 1×10-10Pa?m3/sec.以下 |
| 受壓接液部材質 | SUS316L(VIM+VAR) VIM:真空感應熔煉法 VAR:真空電弧重熔 |
| 密封方法 | 特殊電子束焊接 |
| 接液部表面處理 | 電解拋光(Ra0.25μm以下)及精密清洗 |
| 継手形狀 | 支持VCR 1/4?3/8?1/2外螺紋或內螺紋 UJR1/4?3/8?1/2外螺紋或內螺紋 |
| 電纜 | PVC被覆3芯(電流型為2芯)屏蔽 3m(UL標準符合品) 直出式或連接器連接 |
| 質量 | 約280g(包括3m電纜) |
| 配件 | 使用說明書（請指定日文或英文） 試驗報告單1份 |
型號選擇
| 型號選擇 | 核對 | 型號 | 規格 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.基本型式 | VSHS | 單引入口 | ||||
| VSHT | 雙引入口 | |||||
| 2.螺絲尺寸 | 00 | 相當于1/4VCR的整體陽螺紋 | ||||
| 01 | 1/4VCR対応外螺紋 | |||||
| 02 | 3/8VCR対応外螺紋 | |||||
| 03 | 1/2VCR対応外螺紋 | |||||
| 11 | 1/4VCR対応內螺紋 | |||||
| 12 | 3/8VCR対応內螺紋 | |||||
| 13 | 1/2VCR対応內螺紋 | |||||
| 21 | 1/4UJR外螺紋 | |||||
| 22 | 3/8UJR外螺紋 | |||||
| 23 | 1/2UJR外螺紋 | |||||
| 31 | 1/4UJR內螺紋 | |||||
| 32 | 3/8UJR內螺紋 | |||||
| 33 | 1/2UJR內螺紋 | |||||
| 3.模擬輸出 | - | - | 輸出種類 | 響應頻率 | 允許負載電阻 | 耗電量 |
| A2 | 1～5V(3線式) | 50Hz | 100kΩ以上 | 約10mA | ||
| A4 | 0～5V(3線式) | |||||
| A5 | 0～10V(3線式) | |||||
| A6 | 4～20mA(雙線式) | 500Ω以下 | 約20mA | |||
| 4.校準量程 | - | - | 額定容量 | 校準量程的指定示例 | ||
| 參照右述 直接填寫框內的型號 | 0.3MPa | 0.3MPa (0～0.3)MPa | 能夠在額定容量60%以上的指定。 ※額定容量3.5MPa, 10MPa只有100% | |||
| 1MPa | 1MPa (0～1)MPa | |||||
| 3.5MPa | 3.5MPa (0～3.5)MPa | |||||
| 10MPa | 10MPa (0～10)MPa | |||||
| 20MPa | 20MPa (0～20)MPa | |||||
| 5.電纜連接形狀 | S | 電纜直出 | ||||
| N | 連接器連接 | |||||
| 6.電纜長度 | 01 | 1m | ||||
| 02 | 2m | |||||
| 03 | 3m 標準 | |||||
| □□ | 4～99m ※請說明所需的m數 m | |||||
| 7.額定容量 | 003 | 0.3MPa | ||||
| 010 | 1MPa | |||||
| 035 | 3.5MPa | |||||
| 100 | 10MPa | |||||
| 200 | 20MPa | |||||
| 8.電源 | 4 | DC24V(只有電流輸出) | ||||
| 6 | DC15～24V(只有電壓輸出) | |||||
| 9.資料 | N | 試驗報告單(3點測量)/(標準) | ||||
| T | 溯源文件 (溯源證書, 溯源體系圖, 檢測報告(3點測量)) | |||||
| K | 強度計算書 | |||||
| M | 材質單 | |||||
| L | 強度計算書+材質單 | |||||
| W | 溯源文件+強度計算書 | |||||
| Y | 溯源文件+材質單 | |||||
| S | 溯源文件+強度計算書+材質單 | |||||
